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Shadow Nanosphere Lithography: Simulation and Experiment

Shadow Nanosphere Lithography: Simulation and Experiment
Kosiorek, A., Kandulski, W., Chudzinski, P., Kempa, K., Giersig, M.
Nano Letters 2004, 4(7), 1359-1363

microParticles GmbH, Volmerstr. 9A, UTZ, Geb.3.5.1, D-12489 Berlin, Tel.: +49 30-6392 2565 Fax: +49 30-6392 2555

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