microParticles GmbH, Volmerstr. 9A, UTZ, Geb.3.5.1, D-12489 Berlin, Phone: +49 30-6392 2565 Fax: +49 30-6392 2555

Treatment of Dust Particles in an RF Plasma Monitored by Mie Scattering Rotating Compensator Ellipsometry

Treatment of Dust Particles in an RF Plasma Monitored by Mie Scattering Rotating Compensator Ellipsometry
Swinkels, G.H.P.M., Stoffels, E., Stoffels, W.W., Simons, N., Kroesen, G.M., de Hoog, F.J.
Pure & Appl. Chem. 1998, 70, 1151-1156

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